光刻机概念 12 月 15 日早盘表现强势，早盘收盘时艾森股份20CM 涨停；南大光电大涨超 10%；恒坤新材、彤程新材、中润光学等也涨幅靠前。
消息面上，据财联社报道，阿斯麦（ASML） 首席执行官克里斯托夫·富凯表示，公司为 High-NA EUV（高数值孔径极紫外光刻机） 所设计的光刻改进方案已得到验证，成像效果极佳，分辨率非常出色。目前公司正与客户合作，以全面完善该光刻系统的成熟度。报道称，阿斯麦将与客户密切配合，确保 High-NA EUV 在明年内实现停机时间降至最低的稳定运行。富凯预计，High-NA EUV 将在 2027 至 2028 年间实现大规模量产。
半导体的 「珠穆朗玛峰」
天风证券表示，光刻技术是半导体制造中最核心、最复杂且成本最高的关键工艺。光刻机的演进始终以提升分辨率和减小关键尺寸 （CD） 为核心目标，其发展深受瑞利判据 （Rayleigh criterion） 的理论指导。光刻机作为该工艺的关键设备，技术难度极高、价格昂贵，是全球半导体产业中公认的超精密尖端装备，被誉为 「超精密制造技术领域的珠穆朗玛峰」。
光刻机是整合了包括光源系统、光学系统、双工件台、掩模台、自动对准、调焦调平、传输系统以及环境控制等十多个关键分系统，整机包含数万至十几万个零部件，实现了多领域尖端技术的深度融合。
图片来源：天风证券
半导体需求增长强劲
而综合市场观点来看，光刻机之所以受到市场的极大关注，在于当下市场对于半导体的需求正显著增长。
本月初，世界半导体贸易统计组织 （WSTS） 发布的全球半导体市场最新预测显示，2025 年全球半导体营收有望同比增长 22.5% 至 7720 亿美元，2026 年将再增长 26.3%，达 9750 亿美元，逼近 1 万亿美元关卡，成长幅度预计在 2027 年、2028 年趋缓。
这与今年 6 月的预测数据相比，已被明显调高。WSTS 在 6 月份预计 2025 年全球半导体市场规模将达到 7009 亿美元，同比增长 11.2%；并预测市场到 2026 年将增长 8.5%，达到 7607 亿美元。
美国半导体行业协会 （SIA） 在 11 月公布的数据显示，2025 年第三季度全球半导体销售额达 2084 亿美元，较第二季度环比增长 15.8%。
国内呈加速追赶之势
在国金证券看来，光刻机市场呈寡头垄断格局，ASML、Nikon 和 Canon 三家公司长期占据全球光刻机市场的主导地位。其中，ASML 凭借其在高端光刻机领域的技术优势，2024 年占据了全球光刻机市场 61.2% 的份额，特别是在 EUV 光刻机领域，ASML 是全球唯一的供应商。尼康和佳能则主要集中在中低端光刻机领域。
国内而言，华源证券认为，近几年随着半导体产业的加速崛起，我国光刻机应用需求迅速激增。同时，我国政府正在加快努力推动半导体产业发展，光刻机是中央政策指明要重点突破发展 「卡脖子」 技术及装备，因此，国内光刻机行业得到了资金支持、税收优惠等一系列国家政策倾斜，持续助力了国产光刻机生产能力提升，推动了国内光刻机市场规模上涨。
近年来，国内光刻机产业也不断突破。国金证券表示，2016 年上海微电子 90nm ArF 光刻机 SSA600 系列实现出货。2020 年华卓精科生产的光刻机双工件台，打破了 ASML 公司在光刻机工件台上的技术垄断。2025 年，哈尔滨工业大学官宣了成功研制出 13.5nm 波长的极紫外光刻光源，这是光源技术上备受瞩目的一项突破。中科院上海光机所成功研发了全固态深紫外光源系统，使得中国芯片工艺推进至 3 纳米理论极限。
融资净买入前 20 个股
从 A 股光刻机概念来讲，今年以来概念指数已累计上涨超过 50%，板块中联合化学、腾景科技、赛微电子、凯美特气等十多股股价翻倍。
再看杠杆资金，本月杠杆资金融资净流入光刻机板块超 7 亿元。个股而言，赛微电子为杠杆资金融资净买入最多个股，为 6.83 亿元。南大光电紧随其后，被融资净买入 1.94 亿元。容大感光被融资净买入 1.92 亿元。彤程新材和晶瑞电材也被融资净买入过亿，分别为 1.39 亿元和 1.35 亿元。
往后看，国金证券表示，自 02 专项以来，以上海微为代表的光刻机整机公司在部分制程上已取得较为显著的成绩，完成了终端的 0 到 1 突破，在低端环节后续有望迎来产业端放量；在高端整机环节，2024 年工信部发布的 《首台 （套） 重大技术装备推广应用指导目录》 中将国产 KrF 及 ArF 光刻机明确列入，标志着我国在 DUV 光刻机已取得明确进展。
山西证券则表示，国内晶圆厂建设潮及贸易摩擦下，光刻机国产化迫在眉睫。2026 年底，大陆 12 英寸晶圆厂的总月产能有望从 2023 年的 217 万片 （规划产能） 增长到超过 414 万片。人工智能发展大幅提升国内先进制程产能需求。芯片生产产线建设中，光刻机购置成本最高，达到设备总投资的 21%-23%。国内晶圆厂建设潮和 AI 快速发展带动国产光刻机需求持续攀升。贸易摩擦下，国产光刻机产业有望加速崛起。
（东方财富研究中心）
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