【TechWeb】7 月 1 日消息，据外媒报道，自 2019 年量产的第二代 7nm 制程工艺开始采用极紫外光刻机 （EUV） 以来，台积电随后量产的 5nm、3nm 制程工艺均是依赖于价格高昂的极紫外光刻机，未来的 2nm 及以下制程工艺则是需要价格更高的高数值孔径极紫外光刻机。
而从外媒最新的报道来看，已从阿斯麦公司大量采购极紫外光刻机，用于 7nm、5nm 和 3nm 制程工艺的台积电，在今明两年仍会从阿斯麦大量接收这一类的光刻机，有消息称将会超过 60 台。
考虑到阿斯麦极紫外光刻机高昂的价格，台积电今明两年接收超过 60 台，花费也就不会低。外媒在报道中也提到，台积电的总投资将超过 4000 亿新台币，也就是约 123 亿美元。
从外媒提到的数量来看，台积电今明两年接收超过 60 台，就将占到这一段时间阿斯麦极紫外光刻机交付量的近一半。有消息称阿斯麦今年极紫外光刻机的交付量预计为 53 台，明年预计将会超过 72 台。
阿斯麦是当前全球唯一能制造极紫外光刻机的厂商，台积电、三星电子、英特尔等厂商也全依靠阿斯麦供应，目前的产能也比较紧张，预订之后都需要一段时间才能交付。外媒在报道中也提到，阿斯麦这一类光刻机目前的交付时间在 16 到 20 个月，今年大部分的订单，要在明年才能开始交付。
由于主要客户对极紫外光刻机有强劲的需求，阿斯麦也在提升产量，他们在去年就已开始计划新工厂，明年的交付量有望增加，有报道称目标产能是 90 台。（海蓝）
